[Passivation] 반도체 배관 페시베이션 작업 및 검사 Cleaning&Passivation

작업내용 : 배관 Passivation 페시베이션 작업

시공대상 : 삼성전자 반도체 신규공장 설치라인 배관

삼정전자 반도체공장 신규설치용 배관입니다. 

배관 설치작업 전에 미리 페시베이션을 한 후 설치하기 위해 페시베이션 작업을 합니다. 

태강테크 당사의 클린작업장으로 배관을 가져와서 Cleaning 작업과 Passivation 작업을 마친 후 검사를 하고, 포장하여 납품을 합니다. 

태강테크 클린룸 작업장 내부 모습입니다. 

바닥에 마치 녹이 발생한 것처럼 보이나 이것은 녹이 아니고 바닥에 칠해둔 방수에폭시가 산성의 약품과 반응하여 변색을 일으킨 것입니다. 클린룸의 위생이나 청결에는 아무런 지장이 없습니다. 

클린룸 실험용 약품, 세척도구 등이 보관되어 있습니다. 

Passivation 작업을 위해 입고된 배관들입니다. 

산 및 알칼리 약품으로 Cleaning 및 Passivation 작업을 진행합니다. 

당사 클린룸에 있는 초음파세척기 입니다. 당사의 초음파세척기를 직접 촬영하였으나, 앞면이 거울같은 SUS판이어서 모든 사물이 유리처럼 반사되어 초음파세척기의 모습은 없고 마치 거울만 있는 듯 했습니다. 어쩔 수 없이 제품사진으로 대체하였습니다. 

초음파세적장면입니다. 이 작업으로 이물질과 유분을 완전히 제거하게 됩니다. 

Passivation 작업이 완료되면 pH를 측정하여 중성이 되는지 확인합니다. 

작업을 마친 배관을 무작위로 골라 반도체용 Wiper로 문질러 검사용 샘플을 채취합니다.  

Ferroxyl Test 모습입니다. 페록실테스트는 Passivation 성과여부를 판단하는 테스트로 미국 ASTM에서 Passivation Test로 지정한 검사입니다. 페롤실용액은 철이온과 반응하여 변색이 되는데 샘플표면을 페록실용액 면봉으로 문지른 후 10여분이 지나 색의 변화를 관찰합니다. 만약 색이 변하면 철이온이 남았다는 증거이고 이것은 Passivation이 성공적으로 되지 않았다는 뜻입니다. 그러면 다시 작업을 해야 합니다. 

이 검사는 UV Test 입니다. 배관표면에 UV를 비추면 유분이 있을 경우 얼룩으로 나타나게 됩니다. 

이 검사는 Particle 검사입니다. 반도체용 Wiper를 문질러서 현미경으로 관찰하면 Particle이 보입니다. 고객사의 기준에 맞추어 클리닝을 진행하고, 검사를 한 후 통과되는 것만 성적서를 작성합니다. 

기타 고객사에서 요구하는 기준의 검사를 진행하고 객관성이 확보된 성적서를 발급합니다.